根据客户的工艺和设备特性进行全流程物料搬运自动化系统整体规划设计的一套搬运系统。
用于半导体工厂中物料的自动搬运及智能分拣。nAGV采用悬浮底盘设计,经过凹凸不平路段时,经过悬浮底盘减,可减少...
应用于先进制程的半导体工厂,有效解决散布在存储环境(FOUP)内的污染物。
协助解决底层设备通讯协议繁杂等问题,为设备迅速建立SECS/GEM通讯接口,快速解决设备厂商与自动化工厂系统无...
用于半导体工厂与工厂设备缺陷检测,为工厂环境与设备提供完整的物联方案做数据监测,协助半导体工厂做底层数据挖掘,...