主要用途及适用范围

主要用途:

1.用于存放研磨头,并实时监控和上报研磨头状态

2.实时显示研磨头状态信息(如:新、旧、是否需要保养等)

适用范围:适用于半导体晶圆厂实时追踪研磨头





工作原理

研磨头正确放入抽屉后触发行程开关,然后触发货位的天线模块读取标签信息, 最后点亮对应状态的LED灯;每个控制板控制纵向5个格位,每个控制板之间相互 独立不关联。


产品尺寸及重量

外观尺寸



重量:约400kg


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