主要用途及适用范围

主要用途:

1.用于存放FOUP,并实时监控和上报FOUP状态

2.实时显示FOUP关联wafer Lot信息

适用范围:

适用于半导体晶圆厂实时追踪FOUP






工作原理

FOUP正确放入货位触发传感器,并触发天线模组读取FOUP标签信息,读取完成后将更新对应货位状态并将读取到的信息传至电子货架管理系统;其中每个货位通过控制板并联,最后经通讯转换器连接管理系统,实现数据传输。

 

产品尺寸及重量

外观尺寸 mm)

重量 120KG-150KG

 




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