产品功能

在晶圆生产过程中，等待进机台运行的时间里，晶圆被存储在FOUP内部。随着时间的推移，晶圆会释放出一些对良率产生影响的危害物。同时，FOUP本身的材质和环境也会释放出水分子和其他危害物，进一步影响晶圆的良率。

N² Purge System透过FOUP的进气口，持续将氮气导入FOUP内，气体顺着出气口将FOUP内部的分子污染物、水气、氧气排出FOUP，进而能有效的控制FOUP内部环境，以符合晶圆存储的标准。

产品特色

薄型设计，减少影响Fab走道高度

翻盖设计，提高人员维护便利性，降低设备安装维修安全风险

无后台命令，预设强制填充，避免产品损失

预置前清洁与定期自动喷嘴清洁，避免Particle掉落喷嘴，保持喷嘴洁净度

产品效益

有效排除FOUP内部的污染物

有效的控制FOUP内部的氧浓度与湿度

抑制缺陷

提升产品良率

减少重工、提升Cycle time

减少Q-Time Over