产品功能

提供Single(一批)和Batch(多批)的搬运命令

提供一定时间内的取消搬运命令

查询FOUP搬运指令

查询Stocker的实际存储资料

产品特点

监控下达搬运命令的排队数量，并实时告警

记录MCS回传的搬运命令

提供一个搬运命令跨FAB的功能(对接两个或两个以上的MCS)

运用效果

nXMS整合底层与MCS沟通的复杂问题，对外只提供简便的接口

监控下达搬运命令的排队数量，并实时告警，让User提前快速排查问题

查询FOUP实际位置

方便外部系统做跨FAB的搬运